과학기술정보통신부(부총리 겸 과기정통부 장관 배경훈)는 8월 6일 DB하이텍 상우캠퍼스(충청북도 음성군)에서 ‘DB하이텍-모아팹 중고장비 이전 협약식’을 열고, 기업이 쓰던 반도체 유휴장비를 공공나노팹으로 무상 이전하는 민·관 협력에 본격 착수했다고 밝혔다.
 [코리안투데이] DB하이텍-모아팹 중고장비 이전 협약식 © 장형임 기자 |
이번 협약은 과기정통부와 반도체 주요 3사(삼성전자·SK하이닉스·DB하이텍)가 지난해 3월 체결한 업무협약(MOU)의 후속조치로 추진됐다. DB하이텍은 자사 8인치 파운드리 유휴 중고장비를 모아팹에 참여하는 공공나노팹으로 무상 이전한다. 공공 인프라와 산업 현장 사이의 기술·장비 격차를 줄이고, 국가 반도체 연구 생태계를 함께 강화하자는 취지다.
협약식에는 구혁채 과기정통부 제1차관을 비롯해 조기석 DB하이텍 대표이사 사장, 양승주 부사장 등 회사 임원진과 박흥수 나노종합기술원 원장, 이병훈 나노융합기술원 원장 등 공공나노팹 기관 관계자들이 참석해 장비 무상 이전 협약을 맺고 지속 협력 방안을 논의했다.
나노·반도체 기술은 인공지능·첨단바이오·양자 등 전략기술 발전의 핵심 기반으로, 이를 실증할 공공나노팹 인프라 확보의 중요성이 커지고 있다. 그러나 산업 현장의 빠른 기술 발전에 견줘 공공나노팹의 노후 장비 비율이 높아 연구개발과 기업 사업화 지원에 한계가 있다는 지적이 이어져 왔다. 이에 과기정통부는 전국 공공나노팹을 연계하는 ‘모아팹(MoaFab)’ 플랫폼을 기반으로 기업 유휴장비를 공공나노팹으로 이전·활용하는 민·관 협력 모델을 발굴했으며, 올해부터 2026년~2033년 총 750억 원 규모의 ‘모아팹 중고장비 활용 지원사업’을 본격 추진한다. 이 사업은 모아팹 참여기관에 기업 유휴장비의 이전·구축비를 지원한다.
DB하이텍이 무상 이전하는 첨단 중고장비는 나노종합기술원과 나노융합기술원 2개 기관에 구축돼 핵심 공정 연구개발과 기술 실증 지원에 활용된다. 나노종합기술원이 수증하는 8인치 고온 열처리 증착장비(LPCVD Horizontal Furnace)는 초소형 정밀 부품(MEMS)과 음향 마이크·압력센서·적외선센서 등 각종 센서의 구조막을 얇고 균일하게 입히는 데 쓰인다. 20년 넘은 노후 장비를 교체해 작업 안전성을 확보하고, 1회 가동당 처리량을 회당 25개에서 50개로 두 배 늘릴 수 있을 것으로 기대된다.
나노융합기술원이 수증하는 8인치 건식 식각 및 표면 코팅 장비(HF Etcher & FDTS coating)는 차세대 피지컬 AI용 미세 센서 부품의 하부 받침막을 기체 가스로 깎아 공중에 띄우고, 부품끼리 들러붙지 않도록 소수성 보호막을 입히는 장비다. 기존 공정 방식보다 초미세·초박막 부품을 손상 없이 깔끔하게 분리할 수 있어 공정 단계를 줄이고 부품 품질과 완성도를 높일 것으로 기대된다.
이번 이전은 개별 연구자와 창업·중소기업이 첨단 장비를 갖춘 공공 인프라를 더 폭넓게 이용할 수 있다는 점에서 의미가 있다. 과기정통부는 앞으로 중고장비를 수증한 모아팹 참여 공공나노팹을 중심으로 연구시설과 전문인력을 활용해 산·학·연 연구개발 지원, 기술 실증, 사업화 연계 등 공공 인프라 기능을 대폭 강화할 방침이다. 모아팹에 참여하는 공공나노팹도 지속 확대해 전국 단위 공동 활용 체계를 구축·고도화할 계획이다.
협약식 이후 진행된 팸투어에서는 구혁채 차관과 참석자들이 DB하이텍 상우캠퍼스의 8인치 파운드리 생산라인을 참관하고, 민·관 협력 기반 반도체 생태계 강화와 공공나노팹 연구성과의 산업 적용을 위한 기술 지원, 소부장 테스트베드 지원 방안 등을 논의했다.
구혁채 제1차관은 축사에서 “DB하이텍의 선도적인 중고장비 이전은 민·관이 힘을 모아 반도체 생태계의 선순환 구조를 만들어낸 모범적인 상생 협력 모델”이라며 “앞으로 중고장비 활용 지원사업을 차질 없이 추진해 공공나노팹의 연구지원 인프라를 대폭 고도화하고, 연구계와 산업계가 체감할 수 있는 첨단 반도체·나노 기술 혁신과 전문인력 양성을 적극 뒷받침하겠다”고 밝혔다.
문의는 과기정통부 원천기술과(044-202-4548, 044-202-4541)로 하면 된다.
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